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Plasma Technologies

等离子体应用技术

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等离子体的意思

  • 将能量注入到气体状态的原子或分子，最外层电子结合被脱落，阳离子状态的原子(或分子)与非结合状态的自由电子都独立存在的状态。(物质的第4状态)
  • 存在可进行统计处理的足够量的阳离子及电子
  • 整体上呈现电中性

等离子体内存在的物质

  • 分子(M) > 原子 (a) > Radical (R) > 离子 (i) > 电子 (e)
    1. ① M : 具有物质性质的最小粒子 (CF4,O2,….)
    2. ② a : 独立的元素 (C,F,H,….)
    3. ③ R : 失去一部分最外层电子的Gas分子 (作为Chemical反应的因素 CF3+, CF2+,….)
    4. ④ i : +电荷
    5. ⑤ e : -电荷. 质量为离子的1/1890，活动性强(再结合或分子、原子的解离Source)

等离子体的特性

  • 电性特征

    • 导电性
    • 有不受束缚的电子和Ion，若在外加电场，就能射出电流
    • 温度越升高，电解电导率越增加 3T/2
    • 例如：当约1000万度以上时，与铜相同

  • 磁性特征

    • 当加上磁场，运动方向与磁场方向互相垂直
    • 等离子体密度越增高，等离子体的电阻越下降

  • 化学特征

    • 因为等离子体内的离子和自由电子进行热运动，使分子或原子激发、电离
    • 被激发或电离的分子与其他分子或原子容易发生反应
    • 在接触等离子体的固体表面上发生化学反应

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