KR
Technology
대면적 디스플레이
건식 식각 장비 분야의
독보적 기술력
인베니아는 디스플레이 4대 핵심 전공정 장비 중 하나인
건식 식각 장비(Dry Etcher)를 국내 최초로 국산화하는 데 성공했습니다.
대면적
공정을 위한
플라즈마 식각 기술
건식 식각 장비(Dry Etcher)의 국내 최초 국산화와 10.5세대 대면적 양산 실적을 바탕으로, 대면적 디스플레이 식각 기술을 발전시켜왔습니다. ECCP·ICP 플라즈마 제어와 영역별 제어 기술을 적용하고, LCD 및 OLED Array 공정의 다양한 애플리케이션에 대응하는 맞춤형 장비 설계를 제공합니다.
대면적 균일성
초대형 기판 전면의 균일한
플라즈마 분사와 영역별 제어
정밀 플라즈마 제어
특화된 RF 장비 설계를 기반으로 한
ECCP·ICP 플라즈마 제어와 미세 회로 패턴 식각
모듈형 설계
유지보수의 편의성을 고려한
모듈형 아키텍처 적용
공정 대응력
LCD·OLED Array의 범용 식각부터
고급 식각까지 다양한 애플리케이션에 대응
연구개발 성과 및
지적재산권
인베니아는 핵심 기술을 고도화하고 기술 경쟁력을 강화하기 위해 지속적인 연구개발에 힘쓰고 있습니다.
- Plasma 장비
원천 설계 기술 관련 특허 - 56
- 진공합착기, 검사기,
증착기 관련 특허 - 15
주요 연구개발 실적
- Vision Board 개발
- 화상 인식 Camera 영상 처리 알고리즘 탑재
- Dry Etcher 개발 (PE 방식)
- 대면적용 D/E 당사 독자 모델 확보
- 상압 플라즈마 전극 개발
- 고비용 진공 공정을 저비용·고효율 상압 공정으로 대체
- 반도체용 플라즈마 이온 주입
- 반도체용 장비 제조로의 사업 범위 확대
- Dual Mode Dry Etcher 개발
- Mask 수 감소에 따른 다양한 공정에 대응 가능
- 몰튼 솔더범프제조 템플레이트
- 초정밀 저진동 기술 개발
- ICP Dry Etcher 개발
- LTPS 국산화 후 국내 및 해외 고객 장비 수주 가능
- Photo Inline TFT PTN 검사기
- RTR 모듈 개발, Photo Inline 시장 진입 및 확대
- OLED 열가압 합착기 장비 개발
- OLED Encapsulation 공정용 열가압 합착기 개발
- 8세대 이상 LCD RTR 모듈 개발
- 8세대 이상 LCD 전공정 장비용 핵심 기술 개발
- M2 Ph1 8세대 열가압 합착기
- M2 Ph1 8세대 열가압 합착기 공동 개발
- AMOLED GRAPHENE SHEET
- Flexible Display 적용 가능 신소재 공정 공동 연구
- 10세대 고밀도 플라즈마 건식 식각 설비 핵심 기술 개발
- 고밀도 플라즈마 건식 식각 설비 개발 및 상용화 10세대 고밀도 플라즈마 건식 식각 요소 기술 확보
- 8G OLED 리차징 소스 개발
- 화소 물질 재충전 가능 8G 증착 시스템 개발
- 10.5G ICP Dry Etcher 국산화
- 10.5G 유도결합 플라즈마 장비 개발