Semiconductor Key Parts
해외 반도체 Fab 품질 평가 통과 및
공급 실적 기반 Global 시장 확대
디스플레이 공정 장비의 설계·제작 경험을 바탕으로 기술 신뢰성을 갖춘 반도체 부품 라인업을 구축하고,
Dry Etcher, CVD, Sputter 등 진공 플라즈마 환경의 핵심 장비에 필요한 고순도·내식성 세라믹 소재 기반 부품을 제공합니다.
해외 사업 인프라를 활용해 Chuck, Ceramic Ring, ESC, Socket, Gasket Filter 등 대규모 소모성 수요가 있는 부품의 공급을 전개합니다.

