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플라즈마 응용기술
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- TFTㆍLCD 제조 기술
- 유기 EL 제조 기술
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- 고도 정수 처리 기술
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- 에너지 기술
- 핵융합 에너지 기술
- 수소에너지 기술
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- 반도체 제조 장비
- 반도체 공정 기술
- Device Packing 세정 기술
플라즈마의 의미
- 기체상태의 원자 또는 분자에 에너지를 가하여, 최 외각 전자의 결합이 떨어져, 양이온 상태의 원자(또는 분자)와 비 결합 상태의 자유전자가 독립적으로 존재하는 상태 (물질의 제 4 상태)
- 통계처리가 가능한 충분한 량의 양이온 및 전자가 존재
- 전체적으로 전기적 중성
플라즈마내
존재 물질
- 분자(M) > 원자 (a) > Radical (R) > 이온 (i) > 전자 (e)
- ① M : 물질의 성질을 가진 최소 입자 (CF4,O2,….)
- ② a : 독립된 원소 (C,F,H,….)
- ③ R : 최 외각 전자의 일부를 잃은 Gas분자 (Chemical 반응의 요소로서 CF3+, CF2+,….)
- ④ i : +전하
- ⑤ e : -전하. 질량은 이온의 1/1890로 활동성이 강함 (재결합 또는 분자나 원자의 해리 Source)
플라즈마의 특성
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전기적 특징
- 도전성
- 속박되지 않은 전자와 Ion때문에 외부에서 전계를 걸어주면 전류를 흘릴 수 있음
- 전기 전도도는 온도가 올라갈수록 증가함 3T/2
- 예시 : 약1000만도이상 일때, 구리와 같음
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자기적 특징
- 자계를 걸어주면 운동방향이 자계방향과 직각으로 운동함
- 플라즈마의 밀도가 높아지면 플라즈마의 전기 저항이 낮아짐
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화학적 특징
- 플라즈마 내부의 이온과 자유전자는 열운동을 하기 때문에 분자나 원자를 여기ㆍ전리 시킴
- 여기 또는 전리된 분자들은 다른 분자나 원자들과 반응을 쉽게 할 수 있음
- 플라즈마와 접하고 있는 고체표면상에서 화학반응을 일으킴
