CN
等离子体 应用技术
-
- 显示制造设备
- TFT/LCD 制造技术
- 有机 EL 制造技术
-
- 先进环境技术
- 深度净水处理技术
- 污染减排技术
-
- 机械零部件技术
- MEMS 制造技术
- 离子注入技术
-
- 纳米技术
- 纳米粉末制造技术
- 碳纳米管制造技术
-
- 生物产业
- 生物芯片制造技术
- 蛋白质结构分析设备技术
-
- 加速器
- 小型加速器技术
-
- 光学技术
- EUV 产生技术
- 激光技术
-
- 航空航天产业
- 卫星推进器
- 航天用等离子体推进技术
-
- 能源技术
- 核聚变能源技术
- 氢能技术
-
- 半导体制造设备
- 半导体工艺技术
- 器件封装清洗技术
等离子体的定义
- 等离子体是物质的第四态：向气态原子或分子施加能量，使最外层电子脱离束缚，形成正离子与自由电子独立存在的状态。
- 存在足够数量的正离子和电子，可进行统计处理
- 整体呈电中性
等离子体内部
存在的物质
- 分子（M）> 原子（a）> 自由基（R）> 离子（i）> 电子（e）
- ① M：具有物质性质的最小粒子（CF4、O2等）
- ② a：独立的元素（C、F、H等）
- ③ R：失去部分最外层电子的气体分子（参与化学反应，如 CF3+、CF2+等）
- ④ i：正电荷
- ⑤ e：负电荷。质量为离子的1/1890，活动性强（是复合或分子、原子解离的来源）。
等离子体的特性
-
电学特性
- 导电性
- 未受束缚的电子和离子使其在外加电场作用下能够导电。
- 电导率随温度升高而增加：3T/2
- 示例：约一千万度以上时，电导率与铜相当。
-
磁学特性
- 施加磁场时，粒子沿垂直于磁场的方向运动。
- 等离子体密度越高，其电阻越低。
-
化学特性
- 等离子体中的离子和自由电子因热运动而使分子或原子激发、电离。
- 受激或电离的分子容易与其他分子或原子发生反应。
- 在与等离子体接触的固体表面上发生化学反应。
