KR
AOI / Inspection
단 하나의 미세 불량도 놓치지 않는
고성능 비전 및 외관 검사 Solution
Pattern AOI는 고성능 Vision 알고리즘으로 Open·Short 및 미세 파티클을 실시간 검출·자동 분류하며, MACRO Inspection은 광학 조사 각도 다변화 시스템으로
육안·비전 기반의 얼룩(MURA) 제어를 구현합니다. TFT, Color Filter, LTPS, OLED 등 디스플레이 핵심 영역에 대응하는 특화 검사 알고리즘을 보유하고 있으며,
대면적(G8.5~G10.5) 기판 대응과 포인트당 1.2초 이하의 고속 스캔으로 빠르고 폭넓은 검사 역량을 제공합니다.
OLED
Backplane AOI
- Hole 및 Rib 상부 이물/미세 불량 검사
- 검출 Size : ≥ 3μm (검출률 95%)
- 광학 해상도 : 1.5μm (사양에 따라 Spec 상이함)
- 검사 Coverage : 100%
- (A/A 범위 內, 검사 영역내미검 無)
TFT
AOI
- TFT Glass 패턴 Array 결함 및 이물 결함 검사
- Defect Resolution (Standalone : 3~5μm)
- Final Inspection
- 주요결함 : Array Short/ Open/ Particle
CF
AOI
- CF Glass 표면 각종 결함 검사
- Defect Resolution (Standalone: 10μm / In-Line: 20μm)
- Layer Inspected: BM, Red, Green, Blue, OC, CS
- 주요결함 : 얼룩/ 이물/ 스크래치/ 흑점/ 백점
Manual Macro
Inspection
- CF, TFT Manual 육안 검사 설비군
- 대면적 결함, 불균일 패턴 검사 노하우 최적
- Stage 등 높은 자유도
- 주요결함 : Photo (R/G/B) Row Line Mura, Mura
