AOI / Inspection
不放过任何微小缺陷的高性能视觉与外观检测解决方案
Pattern AOI通过高性能视觉算法实时检测并自动分类断路、短路及微小颗粒。MACRO Inspection通过多角度光学照明系统,实现基于目视及机器视觉的色斑(MURA)检测与管控。我们拥有适用于TFT、彩色滤光片、LTPS及OLED等显示领域的专用检测算法,可检测大尺寸(G8.5–G10.5)基板,并以每检测点不超过1.2秒的高速扫描提供快速、全面的检测能力。

OLED
Backplane AOI
- 孔位及肋条表面异物与微小缺陷检测
- 检出尺寸:≥ 3 μm(检出率95%)
- 光学分辨率:1.5 μm(因规格而异)
- 检测覆盖率:100%
- (有效区域内无漏检区域)

TFT
AOI
- TFT玻璃图形阵列缺陷及异物检测
- Defect Resolution (Standalone : 3~5μm)
- Final Inspection
- 主要缺陷:阵列短路、断路及异物

CF
AOI
- CF玻璃表面各类缺陷检测
- Defect Resolution (Standalone: 10μm / In-Line: 20μm)
- Layer Inspected: BM, Red, Green, Blue, OC, CS
- 主要缺陷:污渍、异物、划痕、黑点及白点

Manual Macro
Inspection
- CF、TFT人工目视检测设备系列
- 具备大面积缺陷及不均匀图形检测的专业技术
- 载台等配置具有高度灵活性
- 主要缺陷:光刻(R/G/B)行线不均及色斑(Mura)

