CN
W-OLED Encapsulation System
W-OLED蒸镀工艺后实现完善封装的高精度贴合技术
INVENIA拥有全球唯一的大面积W-OLED（G8.5）量产业绩，采用针对物流联动与连续工艺优化的
在线集群式架构，通过精密压力控制，在最高80°C下保持均匀温度（可靠性误差范围±1.5°C），
提供行业领先的工艺速度（Pre-Aligner：90秒以下；Hot Press：135秒以下）。
Pre-Aligner
- 视觉系统（UVW与视觉集成）
- Alignment Spec : ±1~20μm
- 真空度：50 mTorr
- 玻璃吸附：支持ASC或ESC
Hot Press
- 加热系统（室温至80°C）
- 气缸加压方式（单个气缸最大加压力2,000 kgf）
- 真空度：50 mTorr
- 加压：0.1–0.6 MPa（均匀性< ±5%）
