显示设备

Vacuum Chamber

保持洁净真空环境的显示工艺物流核心枢纽

实时维持约5.0 × 10⁻⁵ Pa的超高真空环境，从源头防止传送过程中的有机污染，通过最大限度减少物理摩擦的传送驱动，减少微细颗粒的产生。采用连接相邻Vacuum Chamber的模块化接口，实现工艺间联动。